致研真空镀膜机的维护

我公司新定制的实验设备——真空镀膜机是相关企业、研究所、大专院校进行生产和科研的理想设备。用户在使用时需要按照正确的方法对其进行维护，这样才能确保设备的好使用寿命，提高工作效率。

主要维护内容如下：

①.保护设备正常工作的必要条件。

②.工件环境温度不得高于40℃。

③.工件环境相对湿度不得大于90%。

④.冷却水进水温度不得高于25℃，水压不得低于0.2Mpa，供气压力0.6Mpa，工作压力0.4～0.5MPa。

⑤.设备及工作环境必须清洁。

⑥.使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。

⑦.蒸发材料应预先除气。

⑧.进行离子轰击时，蒸发室的真空度必须在10～1Pa范围内，否则蒸发室的气体电离所产生的电流，使工件烘烤电源有短路的危险，因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。

⑨.当电源或机械泵发生故障时，应立即停机，关闭高真空阀。

⑩.定期检查机、电各部份工作情况。

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