真空镀膜机的操作：二

一、当蒸发室真空度达到所需要求工作真空度时，可进行电阻蒸发。操作过程如下：

a.选择好阻蒸，手动操作挡板机构，使挡板置于蒸发源上方，缓缓调节坩埚温度升温待蒸发材料预熔除气完毕后，打开挡板开始蒸发（使用设备底部磁力驱动把手打开坩埚口）。

b.通过上下键设定目标温度，按下加热启停键对坩埚进行加热。

二、蒸发完毕后，对被镀工件进行一段时间的真空状态储存。然后操作真空度。打开放气阀对蒸发室放气，待放气阀完毕后，及时关闭放气阀。打开蒸发室门，取下工件。

三、取出工件后，应迅速做好下一周期的准备工作。关上蒸发室门，拧紧门框。重复抽真空。蒸发室暴露大气的时间不应超过15min。

四、关总电源、水源、气源。

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